光刻机是干什么用的(7纳米光刻机是干什么用的)

吴秋燕网友提问：

光刻机是干什么用的

优质答案：

说到光刻机，很多人肯定都很陌生，也可能是第一次闻声这个东西，那么光刻机是干什么用的呢？一起来了解一下吧。

光刻机是芯片制造的核心设备之一。

在加工芯片的过程中，光刻机通过一系列的光源能量、外形控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上，然后使用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图。

光刻机的结构组成：

一、丈量台、曝光台：是承载硅片的工作台。

二、激光器：就是光源，光刻机核心设备之一。

三、光束矫正器：矫正光束进射方向，让激光束尽量平行。

四、能量控制器：控制终极照射到硅片上的能量，曝光不足或过足都会严重影响成像质量。

五、光束外形设置：设置光束为圆型、环型等不同外形，不同的光束状态有不同的光学特性。

六、遮光器：在不需要曝光的时候，阻止光束照射到硅片。

七、能量探测器：检测光束终极进射能量是否符合曝光要求，并反馈给能量控制器进行调整。

8、掩模版：一块在内部刻着线路设计图的玻璃板，贵的要数十万美元。

9、掩膜台：承载掩模版运动的设备，运动控制精度是nm级的。

10、物镜：物镜用来补偿光学误差，并将线路图等比例缩小。

1一、硅片：用硅晶制成的圆片。硅片有多种尺寸，尺寸越大，产率越高。

1二、内部封闭框架、减振器：将工作台与外部环境隔离，保持水平，减少外界振动干扰，并维持稳定的温度、压力。

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